雙介質低(dī)溫等離子設備

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低(dī)溫等離子體是繼固态、液态、氣态之後的物(wù)質的第四态,當外加電(diàn)壓達到(dào)氣體的放(fàng)電(diàn)電(diàn)壓時,氣體被擊穿,産生(shēng)包括電(diàn)子、各種離子、原子和自(zì)由基在内的混合體。放(fàng)電(diàn)過程中雖然電(diàn)子溫度很高(gāo),但重粒子溫度很低(dī),整個(gè)體系呈現低(dī)溫狀态,所以稱為(wèi)低(dī)溫等離子體。雙介質阻擋放(fàng)電(diàn)技(jì)術(shù)(DDBD)可以産生(shēng)大面積、高(gāo)密度的低(dī)溫等離子體,其内部産生(shēng)富含極高(gāo)化學活性的粒子,如高(gāo)能(néng)電(diàn)子、離子、自(zì)由基和激發态分子等。

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雙介質低(dī)溫等離子設備
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